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一部の真空ポンプ(TMP)だと、停電時に回生制動で得た電力で磁気軸受を活かしつつ停止動作に入るけど(p.59)、あくまでも不意の停電に対する動作なので、常時回生電力を活用してるかというと微妙。
https://showcase.ulvac.co.jp/download/High_VacuumPump/Turbo_Molecular/Manual/7020_UTMｰMS_Controller/EI-S04_J.pdf
関係ないけど、この手のポンプだと磁気軸受動作中に”Levitation” とコントローラに表示されてて、見るたびにおーマグレブと思ってる。